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Cleaner
Developer/ Etcher
Coater
Mask Packing System EFEM Stocker
Coater
ARTCO3000M
제품정보
CLOSE
Product Info
제품정보
제품특징
- High Grade Tech. Process(KrF/ArF)
- Excellent PR Uniformity & Defect
- High Precision Baking & EBR Process
- Particle Free Robot System
- Small Foot Print
- User Friendly GUI